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                      新投集團在投企業微導納米首套300mm晶圓先進集成電路制造ALD量產裝備發貨

                      發布時間:2020-12-29 瀏覽:744

                            

                             近日,新投集團在投企業江蘇微導納米科技股份有限公司(簡稱“微導納米”) 自主研發的首套用于300mm晶圓先進集成電路制造的商業化原子層沉積(ALD)薄膜沉積量產裝備發貨。

                             微導納米公司成立于2015年12月25日,經過五年的技術攻關,微導納米將技術轉化為產品,設備制造和工藝技術不斷突破,成為以先進集成電路制造關鍵裝備為核心的尖端裝備制造商。微導納米技術團隊克服了重重困難,經過長期潛心鉆研和大量的實驗驗證,突破限制半導體ALD薄膜沉積裝備和工藝制程的多個技術瓶頸,成功開發出可用于沉積high-?柵氧層薄膜的新一代ALD量產設備。微導納米再一次突破技術“無人區”,譜寫新的重要里程碑。

                             2020年末,微導納米n型TOPCon結構高效電池技術的推廣也取得新的成果,ZR5000×2批量型等離子體增強ALD鍍膜系統以及當前全球產能最大的KF10000S等一系列光伏裝備,獲得包括阿特斯、隆基、愛旭等多家重要光伏客戶多個訂單。ZR5000×2批量型PEALD鍍膜系統,集成PEALD與PECVD技術,對晶硅太陽能電池表面鈍化膜和減反膜進行批量制備,可用于PERC高效電池技術及TOPCon等下一代電池技術的接觸鈍化。目前微導納米首創PEALD技術在TOPCon電池轉換效率已超過24%,并有進一步的提升空間。為光伏產業后PERC時代的高效電池技術升級創造了必要的條件。同期,微導納米FG系列卷對卷原子層沉積薄膜系統也已正式發貨量產。微導納米自主開發的FG3000卷對卷ALD鍍膜系統,代表了最新一代原子層沉積技術在柔性電子材料領域的突破。FG3000卷對卷ALD鍍膜系統采用微導自主產權的FGAgent材料工藝,主要用于柔性電子封裝材料領域,為中、高端高阻膜,包括OLED、LCD等先進顯示技術所需各類柔性電子材料提供高性能阻水阻氧薄膜,加工幅寬可達1450mm,年產能可達百萬平方米,水汽透過率性能可達10-3g/m2/Day。在ALD技術領域中是目前已知產能最大、鍍膜質量最高的商業化柔性材料鍍膜設備之一,技術具有國際先進水平。

                             未來,微導納米將繼續秉持“通過尖端技術和不斷創新促成我們客戶的先進產品和市場先機”的使命,以原子層沉積技術為核心,致力于先進微、納米級薄膜沉積技術和設備的研究與產業化應用,為光伏、集成電路、柔性電子等半導體與泛半導體行業提供高端裝備與技術解決方案。值此微導納米五周年,祝愿微導納米在行業發展良好勢頭中,再創偉業,再鑄輝煌!

                             微導納米是新投集團于2019年12月投資的一家高新技術企業。公司以原子層沉積技術為核心,致力于先進微、納米級薄膜沉積技術和設備的研究與產業化應用,為光伏、集成電路、柔性電子等半導體與泛半導體行業提供高端裝備與技術解決方案。

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